分光エリプソメーター SE-2000 (回転補償子型)

SE-2000

エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代(1983年創業)から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。新製品エリプソメーターSE-2000では、弊社ベストセラーである分光エリプソメーターGES5Eで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、その結果、従来機以上の測定精度、操作性、安定性を実現しました。使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースで、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用頂けます。

分光エリプソメーターSE-2000では、オプションのFTIRエリプソメーターヘッドを可視アーム付属の同じゴニオメーターに搭載する独自レイアウトにより、単一装置で深紫外(193nm)から中赤外(25µm)までの最も広いスペクトル範囲をカバーできます。装置構成としては、スペクトログラフと検出器アレイを用いた高速検出モードと、スペクトロメーターと単一点検出器を用いた高分解能モード、また両方のモードを同じ装置で選択して頂くことも可能です。
SE-2000には、コンポーネントを交換可能なセミラボの新型高性能電子機器が搭載されており、新世代の動作・分析ソフトウェア(SAM/SEA)で動作します。このシステムは、PCやラップトップからLANネットワーク経由で制御することが出来ます。

特長:

  • 回転補償子法による高精度測定
  • 高分解能アレイ検出器による高速測定(数秒/ポイント)
  • 光電子増倍管PMTによる高精度測定
  • 裏面反射影響除去機能
  • 操作性に優れたソフトウェア
  • 豊富なデータベース
  • 様々なオプションによる拡張性
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回転補償子型 分光エリプソメーター SE-2000

仕様:

     
    測定方式 回転補償子法
    波長範囲 193nm~2500nm (アプリケーションにより、必要な波長範囲を選択可能)
    検出器チャンネル数 可視光領域 CCD 波長方向1024ピクセル、近赤外領域 512ピクセル
    光源 75W キセノンランプ
    測定時間 1ポイントあたり、数秒
    スポット径 数十μm ~ 数mm (選択可能)
    ΨΔ測定レンジ Ψ = 0~90°, Δ = 0~360° (フルレンジ)
    入射角度 25°~90° (自動可変)
    膜厚測定範囲 1Å ~ 数十μm
    サンプルサイズ 1インチ ~ 300mm
    サンプルステージ アプリケーションによりマッピングステージなど各種ステージを選択可能
    その他 CCD検出器の他に、オプションで、PMT(光電子増倍管)検出器も搭載可能

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SE-2000

測定モード:

  • 膜厚測定
  • 光学定数測定(屈折率N、消衰係数K)
  • 偏光解消度
  • 表面ラフネス
  • バンドギャップ
  • ドーパント濃度
  • 異方性測定
  • リタデーション(R0, Rth)
  • ミュラーマトリクス(12または16要素)
  • 異方性材料用のジョーンズ行列
  • 反射率&透過率vs波長&入射角度
  • 透明基板用の透過エリプソメトリー(オプション)
  • ポロシメトリー(オプション):薄膜中の細孔サイズと細孔率の測定
  • in-situ測定モードで成膜またはエッチングプロセス中にリアルタイム制御が可能(オプション)

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SE-2000

オプション:

  • 自動マッピングステージ(XYステージ、回転ステージ)
  • ステージ自動アライメント機能
  • マイクロスポット(500μm標準と更に微小スポットサイズの選択可能)
  • 環境セル:クライオスタット、液体セル、サンプルステージ冷却/加熱セル、QCMセル
  • 細孔率分布測定(ポロシメーター)
  • 可視化カメラ
  • FTIR測定ヘッド(波長最大25μm)
  • 反射率・透過率測定
  • 分光反射率計
  • 波長範囲拡張(深紫外~赤外領域)
  • セミラボの他の測定ヘッドとの統合が可能(4pp、非接触シート抵抗測定など)
  • 安全カバー

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