ウェーハ エッジ形状測定機 E-Shape-3000

非接触・非破壊にて様々なウェーハ（SiC, Si, 他）のエッジ形状等の高精度な測定が可能です。

特徴：

• 非接触・非破壊測定
• SiC、Si等の測定が可能です。
• エッジ形状、直径、OF/ノッチ形状等
• 複雑なエッジ形状にも対応可能です。
• カスタマイズにも対応いたします。
• SEMI Standard準拠

EdgeprofilefromSemiStandard

NotchProfile