製品情報

セミラボでは、半導体の製造プロセスやアプリケーションにおける様々なニーズに対するソリューションを多数ご提供しています。
シリコンのインゴッドから後工程までをカバーする検査装置を取り扱っており、シリコン中のバルク汚染物質を可能な限り最高の感度でテストする装置や、エピ（Epi）抵抗率を測定して製品ウェハー上の誘電体の光学・電気特性を制御する装置、イオン注入モニタリング&結晶欠陥検出装置、バックエンドの誘電体や3D構造デバイスの特性評価用装置、そしてウェハー接合の検査管理装置も取り扱っています。
可能な限り、測定は非接触・非破壊で行われます。全ての装置は、手動操作も含むラボでの使用から、完全なオートメーションまで、様々なレベルの自動化でご利用いただけます。

半導体検査装置製品の一覧へ

セミラボでは、フラットパネルディスプレイの製造プロセスにおいて、様々な光学・電気特性を確認することで製造をモニターする幅広い技術を開発してきました。モニタリングのために独立した製品シリーズ「フラットパネル検査装置」が設計され、装置には大型パネル基板に高精度な測定機能を提供し、様々な製造環境でご使用いただけます。他にも、研究開発やオフライン品質管理用のラボ様装置も取り扱いがございます。

ディスプレイ(FPD)用検査装置製品の一覧へ

セミラボには、確固たる科学的バックグランドに加えて、研究開発分野のお客様とのコラボレーションにより、半導体や太陽電池、フラットパネルディスプレイ、薄膜研究、材料科学、およびこれらに関連する科学的分野における研究開発アプリケーション専用のソリューションを開発してきた長い歴史があります。セミラボの装置の多くは、薄膜と表面の物性特性評価に主眼を置いています。装置はすべて多目的であり、幅広い構成オプションを備えているため、あらゆるニーズに応えます。セミラボでは、最高のソリューションを実現するために、当社のパートナーとの科学的共同研究に常に積極的に取り組んでおり、その成果をカンファレンスや主要な出版物で発表しています。

研究開発用検査装置製品の一覧へ

セミラボ製品は、結晶シリコン太陽電池製造プロセス管理のニーズをカバーしてきました。原料試験用にハンディ―タイプの検査装置をご用意しております。シリコンインゴットの電気特性の確認や結晶欠陥・含有物の検出を行う装置の取り扱いもあります。

最新式のウェハーソーター・ウェハーを評価する、高品質なインライン・フォトルミネッセンスイメージングもご提供しております。

シート抵抗測定に関しては、反射防止膜の品質を管理する追加のインラインモジュールなど、多様な製品と汎用・多機能のラボ用検査装置を組み合わせにより、太陽電池の研究開発と品質保証に貢献しています。

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