LEI-2000Mは、最小２インチ～最大８インチ径のウェーハに対応し、【非接触・非破壊】で移動度・キャリア濃度・シート抵抗の面内分布を測定し、最大200mmのサンプルに対応します。
特徴：
- 幅広い化合物半導体材料に対応。（GaN.AlGaN,GaAs,InP,InGaAs,Graphene,SiCなど）
- 移動度測定【マイクロ波によりホールパワー測定】【マイクロ波反射法による移動度】
- シート抵抗測定【過電流法による、Hi/Lo/XLo】の3レンジ
オプション：
- 3インチ～8インチ自動搬送
- 2インチマニュアルローディング
- SECS/GEN準拠の通信機能
- OCR機能による透過性ウェーハのID認識
- 校正用ウェーハ
