半導体検査装置

セミラボでは、半導体の製造プロセスやアプリケーションにおける様々なニーズに対するソリューションを多数ご提供しています。シリコンのインゴッドから後工程までをカバーする検査装置を取り扱っており、シリコン中のバルク汚染物質を可能な限り最高の感度でテストする装置や、エピ(Epi)抵抗率を測定して製品ウェハー上の誘電体の光学・電気特性を制御する装置、イオン注入モニタリング&結晶欠陥検出装置、バックエンドの誘電体や3D構造デバイスの特性評価用装置、そしてウェハー接合の検査管理装置も取り扱っています。可能な限り、測定は非接触・非破壊で行われます。全ての装置は、手動操作も含むラボでの使用から、完全なオートメーションまで、様々なレベルの自動化でご利用いただけます。

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