COREMA-2000
COREMA-2000は、
非破壊・非接触にてシリコン・化合物半導体の抵抗率測定が可能です。
従来困難だった、半絶縁材料など超高抵抗基板へ対応します。
特徴とシステム仕様：
- 測定対象: ウェハー基板 : GaAs, InP, GaN, CdTe, Si, SiCなど
- 200mmまでのサンプルに対応
- 基板厚さ : 250 – 5000 um まで対応
- 測定可能抵抗率 : 105-1012 Ωcm
- 再現性データ : 1%以下(105-109 Ωcm)
- 測定可能エッジ端 : 2.5mm
- 面内分布マッピング機能
- キャリブレーション不要
- 非接触のため電極形成が不要
- 半絶縁体用 温度可変型 非接触抵抗率測定システム（COREMA-2000T:開発中）
