DLTSシステム DLS-83D

DLS-83Dは、全自動測定モードを搭載しており、測定されたデータの不純物特定や濃度判定などの幅広い解析をユーザーの介入なしに行えます。Deep Level Transient Spectroscopy（DLTS）は、半導体材料や完成デバイスに意図的または意図せずに導入された不純物や欠陥によって生じる、深い準位のモニタリングと特性評価に最適な技術です。この技術は、深いトラップに関連するエネルギーレベル、捕獲断面積、濃度分布などのあらゆるパラメータを決定するための非常に汎用的な方法です。不純物の特定が可能であり、濃度が10⁹ atoms/cm³以下の汚染を検出できます。

特徴とシステム仕様：

• 汚染の痕跡量レベルの検出における最高の感度（10⁹ atoms/cm³）
• 幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備
• 広範な測定モード：
  • 温度スキャン
  • 周波数スキャン
  • 深さ方向プロファイリング
  • CV特性評価
  • 捕獲断面積測定
  • オプティカルインジェクション
  • 定数キャパシタンスのフィードバックループ
  • コンダクタンス過渡測定
  • MOS界面準位の濃度分布
• デジタル&アナログ設定での制御により、操作が非常に簡単
• IV、CVによるサンプル品質試験
• 豊富なソフトウェアによる完全なコンピュータ制御、包括的なライブラリデータベースによる正確な汚染特定