FAaST 350 DSPV
FAaST 350 DSPVシステムは、重金属汚染の非接触・高速モニタリングを行う、世界トップクラスの主力プラットフォームです。108 atoms/cm-3以下のFe検出やデュアルFOUPロードポートローディングステーションの自動ウェハーハンドリングが可能であり、最も要件の厳しい大量生産環境を完全にサポートできます。
特徴とシステム仕様：
- ロボットによる自動ウェハーハンドリング
- デュアルFOUPロードポート：単一ロードポートまたはVersaportを備えたオプション構成
- 拡散長、鉄、他の再結合センター（Nr）の自動フルウェハー高速マッピング
- 裏面再結合（Sb）、定常状態拡散長（L0）、銅測定などの高度なデジタルSPV機能用オプション
- FAaSTソフトウェアパッケージ（測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど）
- 初期構成は300mmウェハー用で、200mm/300mmブリッジ構成もオプションでご用意
- ラインコンディショナーにより、柔軟な対応が可能
- Semilab SDIの他のFAaST装置の測定法を用いた構成に対応
- 追加オプション：ミニエンバイロメント、エッジグリップでのウェハーハンドリング、自動裏面測定用ウェハーフリッパー、300mm SEMI準拠の自動化、耐震用ブラケット、ウェハーOCR/RFID/カセットバーコードリーダー
