FAaST 310/210 SPV
FAaST 310/210 SPVシステムは、高速なフルウェハー汚染イメージングを、研究開発や少量生産環境に適した設計で行います。
特徴とシステム仕様：
- 手動のウェハーローディング（カセットステーションと真空ピンセットを装備）
- 拡散長、鉄、他の再結合センター（Nr）の自動フルウェハー高速マッピング
- FAaSTソフトウェアパッケージ（測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど）
- 50mm～300mmウェハーに合わせて構成可能（複数のウェハーサイズに対応するためのオプション付き）
- 降圧変圧器により、柔軟な対応が可能
- 追加オプション：自動データアップロード/データエクスポート、耐震用ブラケット
