PN-100
PN-100は、半導体材料の導電型(pまたはn)を非接触で高速で判定できる装置です。
特徴とシステム仕様:
- 単結晶/多結晶材料やベア/酸化ウェハーなどのシリコンブロックとウェハーの型判定
- 測定時間:0.5秒
- 結果表示:
- 赤LED=P型
- 緑LED=N型
- 抵抗率範囲:20mΩcm~3000Ωcm
- 測定スポット:直径は距離によって異なる:約10~20mm
- 励起深さ:約3μm
- 測定距離は抵抗率と表面に依存:たとえば表面が研磨された10Ωcm材料の場合は約20mm
- バッテリー交換までの測定回数:約10.000