分光エリプソメーター SE-2000 （回転補償子型）

分光エリプソメーターSE-2000とは

エリプソメーターのパイオニアであるSopra時代（1983年創業）から、セミラボでは数多くの分光エリプソメーターを販売してきました。

新製品エリプソメーターSE-2000は、弊社ベストセラーである分光エリプソメーター旧モデルで培われた経験と技術を継承しつつ、数多くのお客様の声を元に改善を行い、

その結果、従来機以上の測定精度・操作性・安定性を実現しました。

回転補償子型による測定精度の向上に加え、使い勝手の良い解析ソフトウェアと豊富なデーターベースにより

研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用いただいています。

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回転補償子型　分光エリプソメーター

エリプソメーターには様々な測定方式が存在していますが、分光エリプソメーターSE-2000では、高精度測定のため最新の回転補償子型を採用しています。補償子を使用していない様々な測定方式では、測定データΔ=0付近で避けることが出来ない測定誤差が生じてしまうために結果として正しくない解析結果を導いてしまうことが起こりえますが、回転補償子型では、Δ=0付近も高精度で測定が可能なため、正確な解析結果が得られます。このため、ユーザーは測定方式による誤差要因を心配することなく、安心して装置をご使用頂けます。

深紫外から中赤外のスペクトル範囲をカバー

分光エリプソメーターSE-2000では、オプションのFTIRエリプソメーターヘッドを可視アーム付属の同じゴニオメーターに搭載する独自レイアウトにより、単一装置で深紫外（193nm）から中赤外（25µm）までの最も広いスペクトル範囲をカバーできます。

高速測定モードと高分解能モード

装置構成としては、スペクトログラフとCCD検出器アレイを用いた高速測定モードと、スペクトロメーターと単一点検出器(PMT)を用いた高分解能モード、また両方のモードを同じ装置で選択して頂くことも可能です。

分光エリプソメーターSE-2000の特長

多数の販売実績
回転補償子型による高精度測定
高分解能アレイ検出器による高速測定（数秒/ポイント）
光電子増倍管PMTによる高精度測定
裏面反射影響除去機能
操作性に優れたソフトウェア
豊富なデータベース
様々なオプションによる拡張性

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回転補償子型　分光エリプソメーター SE-2000

仕様


測定方式	回転補償子型
波長範囲	193nm～2500nm （アプリケーションにより、必要な波長範囲を選択可能）
検出器チャンネル数	可視光領域 CCD 波長方向1024ピクセル、近赤外領域 512ピクセル
光源	75W キセノンランプ
測定時間	1ポイントあたり、数秒
スポット径	数十μm ～数mm （選択可能）
ΨΔ測定レンジ	Ψ = 0～90°, Δ = 0～360°　（フルレンジ）
入射角度	25°～90° （自動可変）
膜厚測定範囲	1Å ～数十μm
サンプルサイズ	1インチ～ 300mm
サンプルステージ	アプリケーションによりマッピングステージなど各種ステージを選択可能
その他	CCD検出器に加えて、オプションで、PMT（光電子増倍管）検出器も搭載可能

オプション

- 自動マッピングステージ（XYステージ、回転ステージ）
- サンプル自動アライメント機能
- ジョイスティック
- マイクロスポット（500μm標準と更に微小スポットサイズの選択可能）
- 環境セル：クライオスタット、液体セル、サンプルステージ冷却/加熱セル、QCMセル
- PMT（光電子増倍管）検出器
- 細孔率分布測定（ポロシメーター）
- 可視化カメラ
- FTIR測定ヘッド（波長最大25μm）
- 反射率・透過率測定
- 分光反射率計
- 波長範囲拡張（深紫外～赤外領域）
- セミラボの他の測定ヘッドとの統合が可能（4pp、非接触シート抵抗測定など）
- 安全カバー