WT-1200 & WT-1200B
低コスト・非接触のシリコン単1ポイント測定
WT-1200とWT-1200Bは共に、高速で非接触のキャリア・ライフタイム測定法を用いており、太陽電池製造工程の各段階でシリコン材料の特性を評価できます。
WT-1200では、as-cutウェハーから太陽電池の完成品までのウェハーを測定でき、WT-1200Bはブロック測定用のモデルです。
特徴とシステム仕様:
- ウェハー背面へのアクセスは不要
- 全自動の操作とデータ評価
- ウェハー上の任意の位置で測定を選択可能
- 単結晶・多結晶材料の測定
- 特許取得済みの化学的表面パッシベーションオプションをウェハーに使用可能
- ウェハーを太陽電池製造工程の各段階後に測定可能:
- 入りas-cutウェハー
- 拡散ウェハー(リンガラス膜あり、またはなし)
- 窒化被覆ウェハー
- 金属被覆ウェハー
- 太陽電池の完成品