WT-1200A
減衰品質管理による準定常状態µ-PCD(QSS µ-PCD QD)。
ウェハーと太陽電池の品質管理を様々な製造段階。
測定されるパラメータ:
- 定常状態のライフタイムと注入レベルをパラメータなしで決定
- 表面再結合速度(Smax)
- Implied-Voc
- エミッター飽和電流(J0)
特徴とシステム仕様:
- 全自動の操作とデータ評価
- ウェハー上の任意の位置で測定を選択可能
- 単結晶・多結晶材料の測定
- 特許取得済みの化学的表面パッシベーションオプションをウェハーに使用可能
- ウェハーのライフタイムを太陽電池製造工程の各段階後に測定可能:
- as-cutウェハー
- 拡散ウェハー
- 窒化膜付きウェハー
- 金属被覆ウェハー
- 太陽電池の完成品
- 高度なパラメータ(Smax、Voc、J0)を表面パッシベーション段階後に測定可能