WT-2000 PL
WT-2000シリーズは高速測定（20ウェハー/時 - 2500ポイント）が可能です。また、高分解能マッピング測定にも対応しています。レーザーは、アプリケーションに合わせて
266nm、355nm、405nm、532nm、785nm、980nmから複数の選択が可能です。
特徴とシステム仕様：
| 型番 | WT-2000 | WT-2100 | WT-2200 |
|---|---|---|---|
| プラットフォーム | 小型 | 中型 | 全自動 |
| 手動or自動 | 手動ローディング | 手動ローディング | ロードポート×2（FOUP/SMIF） |
| レーザー | 励起レーザー×最大2種類 | 励起レーザー×最大3種類 | 励起レーザー×最大4種類 |
| 検出器 | 検出器×最大2種類 | 検出器×最大2種類 | 検出器×最大3種類 |
| 波長範囲 | DUVから1.7µm（またはそれ以上）まで | DUVからNIRまで | DUVからNIRまで |
| ウェハーサイズ | 50～200mm | 50～300mm | 150mm/200mmまたは300mm |
| オプション | - | ラマン分光、エリプソ、反射率計など | ラマン分光、エリプソ、反射率計、FTIRなど |
