ライフタイム測定装置 WT-2000MCT

WT-2000MCT

狭帯域半導体の特性評価用の温度依存ライフタイム測定WT-2000MCTは、異なるサンプル温度でµ-PCDライフタイム測定を行うよう特別に設計されています。セミラボではシリコン用の他に、短波長励起レーザーを利用したワイドギャップ半導体(SiC,GaN)用のライフタイム測定装置も取り扱っています。

 

特徴とシステム仕様:

  • サンプルサイズ:直径100mmまで
  • 温度範囲:80K~325K
  • 冷却時間:<0.2K

動作モード:

  • 事前に選択した安定温度でのフルウェハーマッピング
  • 単一ポイントのライフタイムを温度の関数としてスキャン

アプリケーション:

  • 温度の関数としての少数キャリア・ライフタイム
  • 狭帯域半導体におけるライフタイムの測定に有効(狭帯域半導体では過剰キャリアが室温で熱的に励起される)
  • 材料:HgCdTe、InSb、GaAsなど

 

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