分光反射率計は、薄膜の特性評価に広く使用されています。この測定では、薄膜層の厚さと光学特性に関する情報が提供されます。スポットサイズを5µmまで小さくできるため、サブピクセルの内部を測定でき、この結果、測定用に別のテストパッドは必要ありません。

セミラボのSRメトロロジーでは、幅広い波長と高輝度のXeランプを使用しているため、お客様固有のプロセス要件に応じて測定の波長域を選ぶことができます。より厚い層に対しては、近赤外拡張機能を追加でき、数十マイクロメートルまでの測定が可能です。フォトレジストや他の敏感な層をUV光から保護するUVフィルターも追加できます。大きな光強度により、取得時間を数ミリ秒にまで短縮できます。また、レーザー光変位センサーと2Dカメラが内蔵されているため、高速な焦点合わせと正確な動きが可能です。

分光反射率計とエリプソメトリーはどちらも同じ分析エンジンを使用しています。したがって、異なる2つのメトロロジーで測定している場合でも、同じ光学モデルを同じ材料に対して使用できます。