Light Beam Induced Current（LBIC）
太陽電池分野では、太陽電池の量子効率が特に重要な指標の1つです。これは、太陽電池の誘起電子流（Ielectron）と入射フォトン流（Iphoton）の比率で示され、光波長と多数の太陽電池特性によって決まります。量子効率には2つの異なる定義があります。
- 外部量子効率：Iphotonがウェハー表面の誘起光の反射で補正されない
- 内部量子効率（IQE）：Iphotonが反射で補正される
太陽電池の量子効率は次のような各種損失によって制限されます。
- 光学的
- 電気的
- 抵抗
- 再結合 - キャリア・ライフタイム関連
IQEの値を求める確実な方法は、Light Beam Induced Current（LBIC）測定法です。
LBIC法は、電流測定に基づいています。
レーザー光がサンプル上の1点に照射されて電流を生じさせます。
この電流が装置によって測定され、所定の照度での短絡電流（ISC）を表します。
複数のレーザー源の反射（R）が反射検出器によって感知されます。
ISCと反射の値から、IQEを決定できます。
複数の波長を用いると、拡散長（L）を測定できます。
この理論は、SPV法と類似しています。
LBICアプリケーション例：
| LBIC | 反射率 | IQE | |
|---|---|---|---|
| 980nm IRレーザー： |  |
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| 405nm青色レーザー： |  |
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特徴
- ・複数波長レーザー機能
- ・光強度を調整可能
- ・直接反射と散乱反射を別々に測定
- ・反射光を最大60°の角度まで検出
- ※測定されるパラメータ：
- ・短絡電流
- ・外部量子効率
- ・反射率（オプション）
- ・内部量子効率（反射率オプションが必要）
- ・少数キャリア拡散長（オプション）
WT/PV
WT製品シリーズは、
多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源・コンピュータ・オペレーティングソフト・XY測定ステージなどの特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。
WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、マップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。
各システムには、ユーザーの要件に応じて処理機能や測定機能を追加し構成されます。
WT-1200シリーズは、単結晶のインゴットと小片向けに特別に開発された、非接触バルクライフタイム&抵抗率測定システムです。
世界で最も強力なPVメトロロジーシステムであり、比類のないマッピング・精密さ・再現性・装置マッチングを実現します。
