光学式ポロシメーター（EP）では、有機溶媒の吸着サイクル中のポーラス薄膜フィルムの光学特性と厚さの変化を分光エリプソメトリー（SE）で測定します。こうした変化は、材料中の細孔が吸着剤で満たされることで生じます。吸着サイクル中に測定された屈折率と厚さの挙動から、細孔率、細孔サイズ分布、特性孔径、ヤング率、疎水性（透水性）、拡散係数といった薄膜固有の特性を算出できます。

セミラボでは、2種類の吸着サイクル設定を提案しています。大気圧（EPA）で水を溶媒として使う設定と、真空下（EP）で多数の異なる有機吸着剤（トルエン、IPA、メタノール、エタノール、水など）を使う設定です。

この測定手法では、マイクロ細孔率（細孔径＜2nm）とメソ細孔率（2＞細孔径＞50nm）の両方を測定でき、測定器の構成に応じて10nmから数µmまでの薄膜に対応できます。従来のポロシメーターと比べると、EPはサンプルの前処理や薄膜のスクラッチを必要としないため、超薄膜の細孔サイズと細孔サイズ分布の測定に適しています。EP法は、単層と多層の両方の薄膜構造の細孔率を測定できる独自の技術であり、優れた再現性と測定スピードを誇ります。

EP法のアプリケーションは無数に考えられます。薄膜の細孔率は、Low-k材料またはポーラスシリコンフィルムを用いたシリコンベース技術、色素増感太陽電池に金属酸化物（SiO₂、TiO₂、W₂O₃など）を用いる太陽電池分野、OPVまたはOLED（カプセル化）にバリア層の透過性を用いる有機電子分野、SolGel技術を用いるコーティング分野で重要となるパラメーターだからです。